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MC200高精型
對控制精度、重復性有更高要求的行業配套客戶首選

最小流量:0.1SCCM     最大流量:500SLPM

MC200高精型氣體層流質量流量控制器向對更高控制精度有需求的工業配套用戶提供計量級精度0.5級(±0.5%設定值精度),通過產品內置的壓力、溫度傳感器的精確補償及獨創核心算法,在低零點、溫度、壓力漂移量上表現出了杰出性能。堅固的金屬外殼,使產品在工業復雜環境下確保耐用性和強抗電磁干擾性能。內置多種氣體和混氣設置,數字式和模擬式的通訊方式,實現流量的精確測量和控制。

特征
  • 原理
    層流壓差式
    流量控制器
    層流壓差式流量控制器
  • 高精度
    ±0.5%
    設定值精度
    ±0.5%設定值精度
  • 高重復性
    ±0.1%
    F.S.
    ±0.1%F.S.
  • 寬溫度、壓力適用范圍
    -20℃~60℃、1Mpa
    以內
    -20℃~60℃、1Mpa以內
  • 可選模擬信號、數字信號
    (0~5)V、RS485
    傳輸方式
    (0~5)V、RS485傳輸方式
  • 內置
    70+種
    氣體和混氣測量
    70+種氣體和混氣測量
  • 提供
    上位機軟件
    實時顯示和下載數據信息
    上位機軟件實時顯示和下載數據信息
使用條件
兼容內置
70+種氣體和可編輯的混合氣體
Compatible
工作流量范圍
1%~120%F.S.
Working flow range
介質溫度
-20℃~60℃
Medium temperature
環境溫度
-20℃~50℃
Ambient temperature
使用濕度
0%~98%(無冷凝)
Operating humidity
最大工作壓力
1Mpa
Working pressure
耐壓
1.5Mpa
Withstand voltage
供電電壓
﹢(18~30)VDC
Supply voltage
消耗電流
<150mA (供電電壓為24v時) <300mA(<5V)
Current consumption
無指定(任意角度)
安裝方式
Installation method
規格型號
應用領域
鍍膜設備

光學、原子鍍膜設備中的流控器件

配套設備

高端制造設備中流控系統的集成和配套

流控器件

精細化工生產線中的流控器件

生物反應器

生物反應器成套設備中的流控器件

配氣裝置

配氣系統或裝置中的流控器件

分析儀器

分析儀器、科學儀器中的流控器件

定制化設備

定制化成套自動化設備中的流控器件

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