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EC450系列
±0.5%設定值精度，支持多種數字通訊方式

最小流量：2SCCM     最大流量：2000SLPM

EC450系列氣體層流質量流量控制器與SC200高精型氣體層流質量流量控制器的區別在于沒有觸摸式顯示屏，通過產品內置的壓力、溫度傳感器的精確補償及獨創核心算法，在低零點、溫度、壓力漂移量上表現出了杰出性能。堅固的金屬外殼，使產品在工業復雜環境下確保耐用性和強抗電磁干擾性能。內置多種氣體和混氣設置，數字式和模擬式的通訊方式，實現流量的精確測量和控制。

特征
  • 提供
    上位機軟件
    實時顯示和下載數據信息
    上位機軟件實時顯示和下載數據信息
  • 可選模擬信號、數字信號
    (0~5)V、RS485
    傳輸方式方式
    (0~5)V、RS485傳輸方式方式
  • 寬溫度、壓力適用范圍
    -20℃~60℃、900KpA
    以內
    -20℃~60℃、900KpA以內
  • 高重復性
    ±0.1%
    F.S.
    ±0.1%F.S.
  • 精度
    ±0.5%
    設定值精度
    ±0.5%設定值精度
  • 原理
    層流壓差式
    流量控制器
    層流壓差式流量控制器
使用條件
兼容內置
70+種氣體和可編輯的混合氣體
Compatible
工作流量范圍
0.5%~100%F.S.
Working flow range
安裝方式
無指定（任意角度）
Installation method
消耗電流
＜300mA (＜7.2W)
Current consumption
供電電壓
24V±20%
Supply voltage
耐壓
1.5Mpa
Withstand voltage
最大工作壓力
900KpaA
Working pressure
使用濕度
0% ~98%（無冷凝）
Operating humidity
環境溫度
-20℃~50℃
Ambient temperature
介質溫度
-20℃~60℃
Medium temperature
資源 5
資源 5
規格型號
EC450A 通用型

EC450A 通用型  |  2 SCCM ~ 2000 SLPM

應用領域
熱噴涂設備

熱噴涂過程的流量控制

光伏設備

光伏行業集成設備中的流控器件

鍍膜設備

濺射鍍膜設備中的流控器件

資源 5
資源 5
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