最小流量：0.1SCCM 最大流量：5000SLPM
EC系列層流質量流量控制器與SC系列層流質量流量控制器的區別在于沒有觸摸式顯示屏，基于壓力式的層流壓差技術，不受制于來流狀態的影響，配合高精度壓力、溫度傳感器實現精確壓力、溫度補償，使得產品在較寬的溫度、壓力范圍內迅速達到流量設定值，保障了測量的精度和控制的穩定性。模擬信號和數字信號的通訊方式，適用于配套過程控制的客戶。
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型 號 |
EC100 |
EC200 |
EC300 |
EC400 |
EC500 |
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流量規格 |
20SCCM~500SLPM |
5SCCM~500SLPM |
0.5SCCM~5000SLPM |
2SCCM~2000SLPM |
2SCCM~2000SLPM |
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閥門種類 |
N/C（常閉型） |
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性能指標 |
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準 確 度 |
EC100：±1.0%S.P.(2%～100%F.S.) EC200：±1.0%S.P.(30%～100%F.S.) ±1.0%F.S.(1%～30%F.S.) EC300：±1.0%S.P.(20%～100%F.S.) ±0.2%F.S.(0.5%～20%F.S.) EC400：±1.0%S.P.(10%～100%F.S.) ±0.1%F.S.(0.5%～10%F.S.) EC450：±0.5%S.P.(20%～100%F.S.) ±0.1%F.S.(0.5%～20%F.S.) |
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重復精度 |
EC100、EC200：±0.2%F.S. EC300：±0.2%Rd（20%~100%F.S.） ±0.04%F.S.（0.5%~20%F.S.） EC400、EC450：±0.1%Rd（20%~100%F.S.） ±0.02%F.S.（0.5%~20%F.S.） |
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| 壓力漂移 |
EC100、EC200：≤±0.1%F.S./100kPa（基準100kPaA) EC300、EC400、EC450：≤±0.1%Rd/100kPa（基準100kPaA) |
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溫度漂移 |
EC100、EC200：≤±0.05%F.S./℃（基準25℃) EC300、EC400、EC450：≤±0.02%F.S./℃（基準25℃) |
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工作范圍 |
EC100：2%～100%F.S. EC200：1%～100%F.S. EC300、EC400、EC450：0.5%～100%F.S. |
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響應時間 |
EC100、EC200：≤700ms EC300、EC400、EC450：≤600ms |
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啟動預熱時間 |
≤1s |
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使用條件 |
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介質溫度范圍 |
EC100、EC200：0℃～50℃ EC300、EC400、EC450：-20℃～60℃ |
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| 環境溫度范圍 |
EC100、EC200：0℃～50℃ EC300、EC400、EC450：-20℃～50℃ |
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使用濕度范圍 |
0%～98%（無冷凝） |
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| 工作壓差范圍 |
50kPa～700kPa（≤5SLPM）；100kPa～700kPa（10SLPM）；50kPa～700kPa（20SLPM）；200kPa～700kPa（30~1000SLPM）； 400kPa～700kPa（1500~2000SLPM）；450kPa～700kPa（3000~5000SLPM） |
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耐 壓 |
1.5MPa |
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最大工作壓力 |
EC100、EC200：650KpaA EC300、EC400、EC450：900KpaA |
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供電電壓 |
24V±20% |
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消耗電流 |
< 300mA（＜7.2W） |
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安裝方式 |
無指定（任意角度） |
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接氣部材質 |
SUS316L、FKM、FFKM、EPDM、Neoprene |
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密封部材質 |
橡膠圈密封：FKM、FFKM、EPDM、Neoprene |
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通信方式 |
RS485 、PROFIBUS、EtherCAT，PROFINET，DeviceNet、4～20mA / 0～5V |
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