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半導體

目前國外的半導體行業多使用壓差式的產品，易度作為國內唯一一家層流壓差質量流量控制器生產廠家，能夠為客戶提供各類流體測控解決方案。

應用場景
  • 光伏行業中薄膜生長設備對工藝氣體的控制
  • 發光二極管（LED）中的氧化擴散
  • 原子層沉積系統中氣體流量控制
  • 光刻機、刻蝕設備中對工藝氣體的精確控制
適用產品
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