2024 / 10 / 11
近日，易度儀器收獲喜訊，其自主研發的通用型層流質量流量計系列產品，通過中國計量科學研究院的計量器具型式評價試驗，獲得中國首個層流質量流量計計量器具型式批準資質證書（簡稱CPA證書）。產品精度達到國家可批準最高級別1.0級，重復性0.1%，響應時間0.01S。
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一直以來，小微氣體、液體流量的精確測量和控制被西方發達國家技術壟斷，這項技術在眾多高端制造領域，包括半導體、生物制藥、新材料等都屬于重要核心技術。易度儀器層流質量流量計的研發和誕生，是公司博士、碩士組成的高素質創業骨干，聯合國內一流的專家學者等組成研發團隊，面對國外技術封鎖，自2011年以來恪守流體測控領域，自主創新，不懈努力的結晶。
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2011年，這個以“80后”為主力軍的研發團隊開始向國外先進技術發起挑戰，當時國外進口的設備獨步天下，相關技術也被西方發達國家壟斷，國內只有個別廠商可以生產一些低端產品，精度低，重復性差，只能配套于低端產業，由于缺乏核心傳感器技術，即便拆開了國外的設備，也難以突破。無數事實表明：試圖通過仿制國外先進產品的路是走不通的。從研發一開始，易度團隊就清醒地認識到，高端精密儀器屬于技術密集型產品，只有通過自主創新，遵循“概念論證”——“關鍵技術驗證”——“方案驗證”——“原理樣機”——“工程樣機”——“產品樣機”——“產品”的技術路線，才能真正掌握技術，研發出高精尖的產品。
這一技術路線耗時之長、成本之高、風險之大，他們中很多人放棄了高薪的工作、舒適的生活，有家人的不理解，也有周圍人的嘲笑。當時在微流量測量領域擺在研發團隊面前的有兩條技術方向：一是以傳熱學原理為基礎的熱式質量流量計，主要由歐美日的六七家公司占據全球絕大部分市場，是技術的主流，技術成熟度較高，但國內一直無法掌握熱式傳感器這一技術核心；另外一條是以“哈根泊肅葉定理”為基礎的層流質量流量計，其核心的層流傳感器研發由于技術難度更高，制造工藝極為復雜，讓那些生產熱式質量流量計的國際頂級廠商也望而卻步。幾十年來，全球范圍內唯一取得重大層流技術突破的只有一家美國公司，但離實現大規模商業應用還有不小的距離。
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最終，考慮到熱式技術已趨于成熟，發展空間趨于飽和，在充分調研后，這群80后“初生牛犢”選擇了更加先進，擁有廣闊技術發展空間，但技術門檻更高的層流質量流量計技術路線，開始專注于攻克核心技術——“通用型層流傳感器”的研發。
毫不夸張地說，一個國家微流體測控水平的高低，決定著高端制造業水平的高低。小微流量測控領域通常測量范圍在0.0001ml/s~100000ml/s，跨度范圍超過9個數量級，而每次精確測量響應速度要小于0.01s，并保證連續兩次測量的相對誤差小于千分之一，技術難度可想而知。
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易度團隊歷時七年苦心孤詣的研究，從2013年第一款層流傳感器原理驗證機的誕生，到2014年第一代控制板原理驗證機的研發，2015年底第一臺層流質量流量計工程樣機的研發成功，一直到2017年6月，第一代層流質量流量計的問世，2018年底順利通過國家計量院的型式評價認證。這其中沒有現成的經驗可以借鑒，所有的工作都要從零開始，一遍一遍地設計，一次一次地試驗，失敗了，重新開始，不完美，重新改進，研發過程是痛苦的，但值得驕傲的是，易度團隊堅持了下來，啃下了一個個硬骨頭，并掌握了這項核心技術，成就了今天的產品。
目前該項技術已獲國家發明專利兩項，同時在全球PCT檢索中具有新穎性。在國內，也只有易度公司掌握了通用型層流測控技術，產品經過國家最高權威機構的驗證，成為中國首家通過認證的通用型層流質量流量計生產商。
易度儀器成功研發出的層流質量流量計和控制器，不僅能實現對氣體和液體質量流量的測量，還能精準控制，是國內第一款自主研發的層流原理數字化產品。經過無數次技術改進，產品正日趨成熟，實現了在-20℃到70℃環境下的正常使用，精度控制在1.0級以內，重復性0.1%，響應時間達到0.01S。
聚焦用戶過程控制，半導體300多項關鍵工藝中，有光刻、氣相沉積、單晶生產等超過70%的工藝項點都與微流量測量相關；石墨烯等新材料的生產制造過程中，最常用的方法增強等離子的化學氣相沉積，也需要精準配給氣體和液體；等離子體發動機作為未來航天發展方向，在生產制造工藝和地面測試環節，需要精確測量小于1ml/min稀有氣體的質量流量，這是等離子體發動機穩定工作的關鍵測試工藝。
近五年，全球微流量測量領域業務每年以30%的速度迅猛增長，隨著以芯片制造、生物醫藥、新材料、3D打印和微納制造為代表的新興高端制造業的迅猛發展，更加精細化的制造工藝對微流量測量控制儀器提出了更高要求。在當前國家大力發展高端制造業的背景下，易度儀器有責任也有信心繼續精鉆技術，專注流體測控領域，解決微流量測控領域難題。
原標題：【通訊稿】易度儀器順利取得中國首個層流質量流量計CPA證書
文章來源：http://www.china-csm.org/xinwendongtai/1233.html
